[2668] 真空装置・真空機器製造業
主として真空装置，真空ポンプ，真空装置用部品，真空装置附属装置
等を製造する事業所をいう。
主として半導体製造装置を製造する事業所は細分類2667に分類される。
○真空治金装置，真空化学装置，真空蒸着装置，スパッタリング装置，ドライエッチ
ング装置，ＣＶＤ装置，イオン注入装置等真空装置製造業，真空ポンプ製造業；真空
装置用部品製造業；真空装置用附属機器製造業
×半導体製造装置製造業
［2667］
；分析機器製造業
［3116］