[2667] 半導体製造装置製造業



主として半導体(半導体集積回路,半導体素子)及び液晶パネル(L
CD)の製造に利用されるマスク・レチクル製造装置,ウェーハプロセ
ス(電子回路形成)装置,半導体チップ組立装置,ガラス基板製造用装
置,カラーフィルタ製造用装置などの各種製造装置を製造する事業所を
いう。
主として設計用装置を製造する事業所は中分類28[2821]に,検査用
装置(電気計測器)を製造する事業所は中分類27[2751]に,純水製造
装置を製造する事業所は小分類267[2678]に分類される。
○ウェーハ加工(スライシング,研削,ラッピング)装置製造業;ウェーハ・液晶パ
ネル熱処理(酸化,拡散)装置製造業;ウェーハ・液晶パネル露光装置製造業;マス
ク・液晶パネル露光装置製造業;ウェーハ・液晶パネルレジスト処理装置製造業;マ
スク・レチクル製造装置製造業;ウェーハ・液晶パネル洗浄・乾燥装置製造業;ウェ
ーハ・液晶パネルエッチング装置製造業;ウェーハ・液晶パネルイオン加工装置製造
業;ウェーハ・液晶パネル薄膜形成装置(CVD,スパッタリング,エピタキシャル
成長)製造業;ウェーハ・液晶パネル真空蒸着装置製造業;ウェーハダイシング装置
製造業;チップボンディング装置製造業;チップモールディング装置製造業;液晶パ
ネルガラス加工装置製造業;液晶パネル陽極酸化装置製造業;液晶パネルラビング装
置製造業;液晶パネル基板貼合わせ装置製造業;液晶パネル用塗布装置製造業;液晶
パネルエージング装置製造業;液晶パネル用剥離装置製造業;液晶パネルレーザーリ
ベア装置製造業;液晶パネル真空注入装置製造業;液晶パネルトリミング装置製造業
×半導体設計用装置製造業[2821];分析機器製造業[3116];温度・湿度調整装置製
造業[2682];純水製造装置製造業[2678];廃液処理装置製造業[2678];ガス制御
装置製造業(工業計器用)[2752];産業用ロボット製造業[2698];制御機器製造業
(工業計器用)[2752];クリーンルーム装置製造業[2678];検査・評価装置製造業
(電気計測器用)[2751]